釕靶材廢料含A185%、Ru 12%及少量Fe、Mg、Si。從這種廢料中生產三氯化釕或純金屬靶材釕粉的工藝流程。關鍵技術及工藝特點:

(1)利用廢料本身的活化劑，調整Al、Ru比活化熔煉，酸溶Al后制備的釕黑粉末氧化蒸餾，因活性很強，可縮短蒸餾時間提高一次蒸餾放率。

(2)可同時生產釘粉和三氯化釘，根據需求調節產品比例。吸收液濃縮為水合三氯化釕，控制洗液用量，可使-次蒸餾吸收和制取的水合三氯化釘產品達到國家石化標準II 型--HG/T 3679- 2000( II )的要求，含(%)Ru 37.23、Fe0.001Na0.08、Ca0.000、Mg0.000、Cu0.00，釘回收奉大于96%。