根據不同需要有很多制備薄膜的方法。一個重要方法是用貴金屬靶材以高溫離子束濺射的方式產生薄膜。過程中必然產生含鉑族金屬的廢料。據江森，馬賽(J. M. )公司報道，2007年全球電子產業鉑靶材需求13.2 t,鉑靶材廢料含鉑5.28~6.6t。估計2007年中國鉑靶材廢料含鉑近4 t,鈀靶材廢料200 ~250 kg, 金靶材廢料0.8~1 t,銀靶材廢料80~1001,形成一類重要的二次資源。

靶材廢料再生回收技術比較簡單。單金屬靶材廢料的再生回收實質是粗金屬精煉為純金屬的過程。多金屬靶材廢料的再生回收，涉及廢料溶解、貴-賤金屬分離及貴金屬精煉。這些技術問題，可根據廢料的性質和成分制定高效合理的回收工藝。